SABIC Innovative Plastics’ New Ultra-Pure Stat-Loy* Compounds Provide Huge “Clean” Plastics Solution to Semicon Industry

BERGEN OP ZOOM, Нидерландыа – 29 мая 2008 г. – По мере роста потребностей пользователей в мощности и функциональности электронных устройств полупроводниковая промышленность стремится уместить расширенную функциональность на имеющихся интегральных схемах или чипах. Процесс производства чипов следующего поколения основан на фотолитографии с использованием аргон-фторидных (ArF) лазеров. Однако применение ArF-лазеров откладывалось из-за отсутствия достаточно «чистых» пластмасс, используемых для изготовления защитных контейнеров (фотошаблонов и фотооригиналов), которые применяются в производственном процессе ИС. Для решения этой задачи и выполнения требований заказчиков подразделение LNP* Specialty Compounds компании SABIC Innovative Plastics разработало сверхчистые прозрачные (UPT) компаунды Stat-Loy* 63000CT. Используемые в устройствах защиты полупроводниковых пластин, компаунды UPT Stat-Loy позволяют избежать повреждений, обусловленных выделением газов, которое может привести к загрязнению пластин, повышению процента брака и удорожанию производства.

Выполнение требований заказчиков ИС

Производство ИС требует соблюдения строгих правил к чистоте производственных помещений. По мере уменьшения шага влияние загрязнения в результате выделения газов из пластмасс становится более заметным. Если летучие органические соединения (ЛОС) или вымываемые ионы попадают на поверхность кремниевых пластин, фотошаблонов или фотооригиналов, это может привести к повреждению устройства или нарушению его работоспособности. Использование более мощных ArF-лазеров делает полупроводниковые пластины и контейнеры еще более чувствительными к повреждению под действием выделяющихся газов.

«Непригодность имеющихся материалов контейнеров сдерживала переход к использованию ArF-лазеров в течение ряда лет», — сказал Ео Аун Хуа (Yeo Aun Hua), менеджер по продукту LNP компании SABIC Innovative Plastics. «Осознавая, что внедрение этой новой технологии имеет решающее значение для производителей ИС, компания SABIC Innovative Plastics начала проактивную разработку компаундов UPT Stat-Loy 63000CT, чтобы помочь устранить основное препятствие на пути к миниатюризации полупроводниковых компонентов. Наши исследовательские работы и стремление к инновациям позволят предприятиям, выпускающим интегральные схемы, использовать ArF-лазеры для получения цепей с исключительно тонкой структурой — менее 45 нм».

Компания Gudeng Precision Industrial Co. Ltd стала одним из крупнейших мировых производителей сверхчистых контейнеров для транспортирования/хранения фотошаблонов и оборудования очистки фотооригиналов для масок с фазовым сдвигом (PSM) и высокотехнологичных фотооригиналов. Как утверждает технический менеджер компании, д-р Пошин Ли (Poshin Lee), «Компаунд Stat-Loy 63000CT служит превосходным материалом для имеющихся и разрабатываемых средств переноса полупроводниковых пластин и фотошаблонов по позициям обработки. Он удовлетворяет наиболее важным требованиям к чистоте и обеспечивает минимальный риск загрязнения во время транспортирования внутри предприятия».

Компания Sakase Chemical Co., Ltd. разработала новые контейнеры марки TAC Carrier для транспортирования нестандартных компонентов JEDEC, включая прецизионные и микродетали, а также тонкопленочные интегральные микросхемы, обращение с которыми часто затруднительно вследствие их конструкции и формы. По заявлению генерального менеджера отделения по развитию Икуо Кониши (Ikuo Konishi), «Сочетание компаунда Stat-Loy 63000CT, обеспечивающего антистатические свойства и сверхвысокую чистоту, со связующим составом, разработанным компанией Kaneka, позволило создать новую серию изделий для нестандартных, трудноуправляемых компонентов JEDEC, таких как микроэлектромеханические системы, линзы, чипы, полупроводниковые пластины и прецизионные детали, с исключительно низким риском загрязнения. Мы обеспечили чистые производственные помещения для серийного выпуска UPT и материала компании Kaneka, и приступим к производству новых транспортировочных контейнеров для ведущих производителей машиностроения Японии».

Сверхнизкое выделение газов повышает выход годных изделий в производстве интегральных микросхем

Чтобы предоставить заказчикам требуемые решения, компания SABIC Innovative Plastics расширила существующую линейку продукции LNP Stat-Loy, дополнив ее серией компаундов Stat-Loy 63000CT, которые представляют собой сверхчистые прозрачные материалы, обладающие устойчивыми антистатическими свойствами, сверхнизкими показателями выделения газообразных ЛОС и низким уровнем содержания вымываемых ионов. По сравнению с этими материалами прозрачный антистатический полиметилметакрилат (ПММА) имеет высокие показатели выделения газов, что приводит к образованию матовости. Непрозрачные компаунды на основе угольной сажи не позволяют сверять шифры фотооригиналов или фотошаблонов с шифрами коробок, не открывая контейнеров. В отличие от этих материалов, компаунды UPT Stat-Loy 63000CT обладают исключительной прозрачностью, чистотой и электрической проводимостью.

Более того, использование композиции на основе поликарбоната обеспечивает ударопрочность, превосходящую показатели других серийно выпускаемых материалов более чем в 20 раз.

Новый материал также допускает окраску при формовке практически в любой цвет, включая ряд специальных эффектов окраски. Компаунды серии UPT Stat-Loy 63000CT являются превосходными кандидатами для изготовления устройств защиты фотошаблонов и полупроводниковых пластин, коробок для чипов, контейнеров для микроэлектромеханических систем, подставок для фотооригиналов и держателей, используемых в процессе производства.

Компаунды UPT Stat-Loy 63000CT доступны во всем мире. Для получения дополнительной информации о компаундах LNP Stat-Loy компании SABIC Innovative Plastics посетите вебсайт компании www.sabic-ip.com .

Reader Enquiries

Innovative Plastics		Polymers
1 Plastics Avenue		Europaboulevard 1
Pittsfield, Mass.		6135 LD Sittard
United States		Netherlands
Tel: +1 413 448 7383		Tel: +31 (0)46 722 2399
Email: jodi.kennedy@sabic-ip.com		Fax: +31 (0)10 264 4823
Web: www.sabic-ip.com		Email: rachel.kundra@sabic-europe.com
		Web: www.sabic.com

Netherlands

+31 46 722 2222

www.sabic.com