Nowe, ultraczyste tworzywa Stat-Loy* firmy SABIC Innovative Plastics jako przejrzyste plastiki dla przemysłu półprzewodnikowego

BERGEN OP ZOOM, Holandia – 29 maja 2008 – Klienci wymagają coraz większej uniwersalności i funkcjonalności urządzeń elektronicznych. W odpowiedzi przemysł półprzewodnikowy dąży do zwiększenia liczby funkcji realizowanych przez istniejące układy scalone (kości). Nowa generacja procesu technologicznego produkcji kości półprzewodnikowych jest oparta na fotolitografii z wykorzystaniem lasera argonowo-fluorowego (ArF). Zastosowanie laserów ArF zostało opóźnione przez brak wystarczająco czystych plastików, które mogłyby stanowić budulec pojemników ochronnych (na maski fotolitograficzne i siatki) używanych w procesie produkcji układów scalonych. Chcąc sprostać temu wyzwaniu i odpowiedzieć na potrzeby klientów, dział tworzyw technicznych LNP* firmy SABIC Innovative Plastics opracował ultraczyste i przezroczyste (ang. Ultra-Pure Transparent, UPT) tworzywa serii Stat-Loy* 63000CT. Tworzywa UPT Stat-Loy stosowane w elementach zabezpieczających płytki półprzewodnikowe chronią przed uszkodzeniami spowodowanymi odgazowywaniem, które może doprowadzić do zanieczyszczenia płytek, zwiększenia liczby odrzutów i podniesienia kosztów.

Naprzeciw potrzebom klientów z przemysłu układów scalonych

Proces technologiczny układów scalonych wymaga spełnienia surowych kryteriów w pomieszczeniach czystych. Wraz ze zmniejszaniem wymiarów poszczególnych elementów coraz większego znaczenia nabierają zanieczyszczenia pochodzące z odgazowywania plastiku. Gdy organiczne substancje lotne lub wypłukiwane jony docierają do powierzchni płytki krzemowej, maski fotolitograficznej lub siatki, mogą uszkodzić urządzenie lub zakłócić jego funkcjonowanie. Korzystanie z mocniejszych laserów ArF oznacza jeszcze większe narażenie płytek i pojemników na uszkodzenia będące skutkiem odgazowywania.

— Niedoskonałości dostępnych materiałów na pojemniki opóźniła przejście na stosowanie laserów ArF o wiele lat — powiedział Yeo Aun Hua, Menedżer Produktu LNP, SABIC Innovative Plastics. — Firma SABIC Innovative Plastics uznała, że zastosowanie tej nowej technologii ma kluczowe znaczenie dla producentów układów scalonych i z myślą o tym opracowała tworzywa UPT Stat-Loy 63000CT, które eliminują podstawową przeszkodę w procesie miniaturyzacji podzespołów. Nasze prace badawczo-rozwojowe i zaangażowanie w innowacje pomoże producentom układów scalonych we wdrożeniu laserów ArF w celu uzyskania bardzo drobnych obwodów o rozmiarach 45 nm i mniejszych.

Firma Gudeng Precision Industrial Co. Ltd stała się jednym z największych producentów ultraczystych pojemników do transportu i przechowywania masek fotolitograficznych oraz sprzętu do czyszczenia siatek ze zmienną fazą (w technologii PSM) i siatek o najwyższych parametrach. Dr Poshin Lee, Kierownik Techniczny, twierdzi, że Stat-Loy 63000CT jest wyśmienitym materiałem na zasobniki do transportu płytek i masek fotolitograficznych w procesie produkcji, tak dzisiaj, jak i w przyszłości. Spełnia kluczowe wymagania w zakresie czystości i zapewnia niski poziom ryzyka zanieczyszczeniem podczas transportu wewnątrzfabrycznego.

Firma Sakase Chemical Co. Ltd. opracowała produkty TAC Carrier obejmujące nowe pojemniki do wysyłki podzespołów niezgodnych ze standardem JEDEC, w tym także układów scalonych zawierających elementy precyzyjne, mikroukłady i elementy cienkowarstwowe, które zwykle są trudne w operowaniu ze względu na ich konstrukcję i kształt. Według Ikuo Konishi, Głównego Menedżera Działu Rozwoju, połączenie tworzywa Stat-Loy 63000CT — które ma właściwości antystatyczne i jest ultraczyste — ze środkiem klejącym firmy Keneka umożliwiło opracowanie nowej linii produktów charakteryzujących się niezwykle niskim ryzykiem zanieczyszczenia, a przeznaczonych do trudnych w operowaniu podzespołów niezgodnych ze standardem JEDEC, takich jak układy MEMS, soczewki, układy scalone, płytki oraz części precyzyjne. Wdrożyliśmy tworzywa UPT w pomieszczeniach czystych. Keneka zacznie produkować nowo opracowane pojemniki transportowe dla czołowych producentów z branży technicznej w Japonii.

Ultraniskie odgazowywanie podnosi wydajność produkcji układów scalonych

Aby zaoferować odpowiednie rozwiązania swoim klientom, firma SABIC Innovative Plastics poszerzyła obecną gamę produktów LNP Stat-Loy o tworzywa serii Stat-Loy 63000CT, które są ultra czyste, przezroczyste i trwale antystatyczne, a także charakteryzują się ultraniskim poziomem odgazowywania organicznych substancji lotnych i niskim poziomem wypłukiwanych jonów. Dla porównania, przezroczysty, antystatyczny metakrylan poli(metylowy) (PMMA) przejawia wysoki poziom odgazowywania, co prowadzi do tworzenia się mgiełki. Nieprzezroczyste, czarne tworzywa uniemożliwiają z kolei sprawdzanie numerów siatek i masek fotolitograficznych z numerami opakowania bez otwierania pojemnika. Natomiast tworzywa UPT Stat-Loy 63000CT zapewniają niezwykłą klarowność, czystość i przewodność elektryczną.

Co więcej, ich budowa oparta na stopie poliwęglanowym zapewnia 20-krotnie większą odporność na uderzenia niż inne materiały na rynku.

Nowy materiał poddaje się zabarwianiu na praktycznie dowolny kolor w procesie wtrysku, podczas formowania można również wytworzyć szereg specjalnych efektów kolorystycznych. Tworzywa serii UPT Stat-Loy 63000CT idealnie nadają się na urządzenia do ochrony płytek, kontenery na układy scalone, opakowania systemów MEMS, zasobniki masek oraz pojemniki transportowe.

Tworzywa UPT Stat-loy 63000CT są dostępne na całym świecie. Więcej informacji na temat tworzyw LNP Stat-Loy można znaleźć na stronie internetowej firmy SABIC Innovative Plastics pod adresem www.sabic-ip.com .

Reader Enquiries

Innovative Plastics		Polymers
1 Plastics Avenue		Europaboulevard 1
Pittsfield, Mass.		6135 LD Sittard
United States		Netherlands
Tel: +1 413 448 7383		Tel: +31 (0)46 722 2399
Email: jodi.kennedy@sabic-ip.com		Fax: +31 (0)10 264 4823
Web: www.sabic-ip.com		Email: rachel.kundra@sabic-europe.com
		Web: www.sabic.com

Netherlands

+31 46 722 2222

www.sabic.com