Nové jasně čisté směsi Ultra-Pure Stat-Loy* společnosti SABIC Innovative Plastics poskytují vynikající „čisté“ plastové řešení pro polovodičový průmysl

BERGEN OP ZOOM, Nizozemsko – 29. května 2008 – Vzhledem k tomu, že zákazníci požadují po elektronických přístrojích stále více výkonu a funkcí, polovodičový průmysl usiluje o začlenění více funkcí do stávajících integrovaných obvodů, nebo „čipů”. Výroba nové generace čipů je fotolitografický proces s využitím argon-fluoridové (ArF) laserové technologie. Nicméně, zavedení ArF laserů bylo zpožděno nedostatkem dostatečně „čistých” plastů použitých v ochranných obalech (fotomasky a šablony) pro výrobní proces integrovaných obvodů. Pro splnění tohoto úkolu a uspokojení potřeb zákazníků vyvinula divize LNP* Specialty Compounds společnosti SABIC Innovative Plastics řadu jasněčistých průhledných plastových směsí Ultra-Pure Transparent (UPT) Stat-Loy* 63000CT. Směsi UPT Stat-Loy, použité v prostředcích pro ochranu plátků čipů, mohou zabránit škodám vzniklým uvolňováním plynů, které mohou kontaminovat plátky, zvýšit zmetkovitost a náklady.

Splnění potřeb zákazníků v oblasti výroby integrovaných obvodů

Výroba integrovaných obvodů vyžaduje přísnou čistotu výrobního prostředí. Čím jemnější je výroba, tím se zvyšují účinky kontaminace z úniku plynů z plastů. Jestliže těkavé organické látky (VOC) nebo vyluhovatelné ionty dosáhnou povrchu silikonových plátků, fotomasek nebo šablon, mohou zařízení poškodit nebo narušit jejich funkčnost. Použitím ArF laserů s vyšším výkonem jsou plátky a obaly ještě více náchylné k poškození následkem úniku plynů.

„Nedostatky dostupných materiálů obalů dlouhá léta bránily využití ArF laseru,“ řekl Yeo Aun Hua, produktový manažer LNP, SABIC Innovative Plastics. „Díky tomu, že společnost SABIC Innovative Plastics rozpoznala, že přechod k této nové technologii je pro výrobce integrovaných obvodů nezbytný, vyvinula směsi UPT Stat-Loy 63000CT, aby pomohla odstranit hlavní překážku v miniaturizaci polovodičových komponent. Úsilí našeho výzkumu a vývoje a závazek neustálých inovací pomůže výrobcům integrovaných obvodů využít ArF lasery, které umožní výrobu extrémně jemných obvodů až do rozměru 45 nm i méně.”

Společnost Gudeng Precision Industrial Co. Ltd se stala jedním z největších světových výrobců jasněčistých přepravních/skladovacích nosičů fotomasek a čisticího zařízení šablon pro masky s fázovým posunem (PSM) a vysoce přesných (high-end) šablon. Podle technického manažera Dr. Poshin Leea je: „Stat-Loy 63000CT vynikajícím materiálem pro stávající a budoucí nástroje pro přenos plátku/fotomasky ve výrobních závodech. Může splnit zásadní požadavky na čistotu a poskytnout nejnižší riziko kontaminace při přepravě v rámci výroby.”

Pod značkou TAC Carrier, vyvinula společnost Sakase Chemical Co., Ltd. nové obaly pro přepravu komponent, které nespadají pod normu JEDEC, včetně přesných mikro součástí a tenkovrstvých čipů integrovaných obvodů, jejichž transport je obvykle nesnadný vzhledem k jejich konstrukci a tvaru. Podle Ikuo Konishiho, generálního manažera divize vývoje, “Díky kombinaci směsi Stat-Loy 63000CT – která poskytuje antistatické vlastnosti a extrémně vysokou čistotu – a adhezivní látky od společnosti Kaneka, můžeme vyvinout novou řadu výrobků s extrémně nízkým rizikem kontaminace pro nesnadno manipulovatelné komponenty nespadající pod normu JEDEC, jako jsou například MEMS, čočky, čipy, čipové plátky (wafery) a přesné součásti. Instalovali jsme čistý provoz pro realizaci materiálu UPT a Kaneka a začneme vyrábět tyto nově vyvinuté přepravní obaly pro přední výrobce technických zařízení v Japonsku.”

Velmi nízké úniky plynů zvyšují kvalitu výroby integrovaných obvodů

Aby společnost SABIC Innovative Plastics poskytla zákazníkům správná řešení, rozšířila stávající produktovou řadu LNP Stat-Loy o směsi Stat-Loy řady 63000CT, což jsou jasně čisté průhledné permanentně antistatické materiály s velmi nízkým uvolňováním organických těkavých látek a nízkou úrovní vyluhovatelných iontů. V porovnání s nimi vykazuje transparentní antistatický poly (metyl) metakrylát (PMMA) vysoké uvolňování těkavých látek, což vede k vytváření zamlžení. Matné směsi na bázi sazí znemožňují ověřit čísla kódů šablon nebo masek oproti číslům krabiček bez otevírání zásobníků. Směsi UPT Stat-Loy 63000CT naproti tomu poskytují vynikající průhlednost, čistotu a elektrickou vodivost.

Kromě toho, konstrukce na bázi polykarbonátové směsi poskytuje více než 20krát lepší odolnost vůči nárazu než ostatní materiály na trhu.

Tento nový materiál je také možné barvit do prakticky jakéhokoliv odstínu barev pro zalisování, včetně řady speciálních pigmentových efektů. Směsi řady UPT Stat-Loy 63000CT jsou vynikajícími kandidáty pro ochranná zařízení fotomasek a čipových plátků, čipových boxů, MEMS kazet, držáků šablon a procesních nosičů.

Směsi UPT Stat-loy 63000CT jsou dodávány na celosvětový trh. Pro další informace o směsích LNP Stat-Loy společnosti SABIC Innovative Plastics prosím navštivte internetové stránky společnosti www.sabic-ip.com .

Reader Enquiries

Innovative Plastics		Polymers
1 Plastics Avenue		Europaboulevard 1
Pittsfield, Mass.		6135 LD Sittard
United States		Netherlands
Tel: +1 413 448 7383		Tel: +31 (0)46 722 2399
Email: jodi.kennedy@sabic-ip.com		Fax: +31 (0)10 264 4823
Web: www.sabic-ip.com		Email: rachel.kundra@sabic-europe.com
		Web: www.sabic.com

Netherlands

+31 46 722 2222

www.sabic.com