Les nouveaux compounds ultra purs Stat-Loy* de SABIC Innovative Plastics apportent des solutions plastiques “propres” à l’industrie des semi-conducteurs

BERGEN OP ZOOM, Pays-Bas – 29 mai 2008 – Alors que les utilisateurs demandent plus de puissance et de fonctionnalité aux appareils électroniques, l’industrie des semi-conducteurs s’efforce d’intégrer plus de fonctionnalité dans les circuits intégrés ou “puces“ existants. La nouvelle génération de fabrication de puces est un processus photolithographique utilisant la technologie laser argon-fluoride (ArF). Cependant, l’adoption de lasers ArF a été retardée par le manque de plastiques “propres” utilisés dans les conteneurs de protection (photomasques et réticules) pour le processus de fabrication des circuits. Pour relever ce défi et répondre aux besoins des clients, l’activité de compounds de spécialité LNP* de SABIC Innovative Plastics a développé la gamme de composounds de 63000CT ultra-purs trasnparents (UPT). Utilisés dans les appareils de protection des galettes de Silicium, les composés UPT Stat-Loy* peuvent prévenir les dommages provoqués par le dégazage qui peuvent contaminer les galettes, accroître les rejets et augmenter les coûts.

Répondre aux besoins des fabricants de Circuits Intégrés

La fabrication de Circuits Intégrés exige des procédures rigoureuses de salle propre. Comme le design des gravures devient plus fin, l’effet des contaminants du dégazage des matériaux plastiques devient plus prononcé. Si des composés organiques volatiles (COV) ou des ions relargables atteignent la surface des galettes de silicone, des photomasques ou réticules, ils peuvent endommager l’appareil ou interrompre la fonctionnalité. L’utilisation de lasers ArF à haute puissance rend les galettes et conteneurs encore plus susceptibles d’être endommagés par du dégazage.

«Les insuffisances de matériaux pour conteneur ont entravé l’évolution vers la lumière laser ArF pendant des années,» a déclaré Yeo Aun Hua, chef de produit LNP chez SABIC Innovative Plastics. «Reconnaissant que l’évolution vers cette nouvelle technologie est critique pour les fabricants de circuits intégrés, SABIC Innovative Plastics a développé de façon proactive les compounds UPT Stat-Loy 63000CT pour aider à écarter un obstacle majeur dans la miniaturisation des composants. Nos efforts de R&D et notre engagement dans l’innovation vont permettre aux usines de circuits imprimés de tirer parti des lasers ArF pour fournir gravures de circuits extrêmement fines jusqu’à 45 nm et en dessous.»

Gudeng Precision Industrial Co. Ltd est devenu un des plus importants fabricants de conteneurs de transport ou de stockage de photomasques ultra propres et d’équipements de nettoyage de réticules pour masque de décalage de phase (PSM) et réticules hautes performances. Selon Dr. Poshin Lee, responsable technique, «Stat-Loy 63000CT est un matériau excellent pour les outils de transport actuels et à venir de photomasques/ plaquettes. Il peut répondre à des exigences de propreté critiques et garantir un moindre risque de contamination durant le transport dans la chaine de fabrication.»

Sous la marque TAC Carrier, Sakase Chemical Co., Ltd. a développé de nouveaux conteneurs pour le transport de composants de standards non-JEDEC, y compris des puces de précision, de micro-pièces et de films minces, qui sont souvent difficiles à manier en raison de leur conception et de leur forme. Selon Ikuo Konishi, directeur général de Development Division, «La combinaison du composé Stat-Loy 63000CT – qui apporte des propriétés antistatiques et une ultra pureté – et de l’agent adhésif de Kaneka, nous a permis de développer une nouvelle ligne de produit pour les composants difficiles à manier, de type standard non-JEDEC tels que les MEMS, lentilles, puces, plaquettes et pièces de précision avec des risques de contamination très faibles. Nous avons installé une sale propre pour la commercialisation de matériaux UPT et Kaneka et nous commencerons à fabriquer ces conteneurs d’expédition nouvellement développés pour les plus grands fabricants Japonais.”

Le dégazage ultra faible augmente les rendements de fabrication de Circuits Intégrés

Pour apporter les bonnes solutions à ses clients, SABIC Innovative Plastics a étendu la ligne de produit existante LNP Stat-Loy avec les composés de série Stat-Loy 63000CT, qui sont des matériaux ultra propres, transparents, antistatiques permanents, générant un dégazage ultra faible de COV et de faibles niveaux d’ions relargables. En comparaison, le méthacrylate de polyméthyl antistatique transparent (PMMA) fait preuve de dégazage élevé entraînant la formation de trouble. Les composites opaques à base de noir de carbone rendent impossible la vérification des numéros de code des réticules ou photomasques en rapport avec les numéros des boîtes sans ouvrir les conteneurs. Cependant, les composés UPT Stat-Loy 63000CT fournissent une clarté, une propreté et une conductivité électrique excellentes.

En outre, la conception à base d’alliage en polycarbonate fournit plus de 20 fois la résistance aux impacts par rapport aux autres solutions du marché.

Le nouveau matériau peut également être coloré en pratiquement n’importe quelle teinte de couleur, y compris une gamme d’effets pigmentés spéciaux. Les compounds de série UPT Stat-Loy 63000CT sont des candidats excellents pour les appareils de protection des photomasques et des galettes de Silicium, les boîtes de puces, les étuis MEMS, les boîtiers de réticule et les conteneurs de production.

Les composés UPT Stat-loy 63000CT sont disponibles dans le monde entier. Pour des informations complémentaires sur les composés LNP Stat-Loy de SABIC Innovative Plastics, veuillez visiter le site de la société à www.sabic-ip.com .

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