26-09-2005

Quartz, una division de GE, ofrecerá plataformas variables de montaje térmico de “wafers” para los fabricantes de equipos semiconductores

BERGEN OP ZOOM, PAÍSES BAJOS - 26 septiembre 2005 - Para ayudarle a optimizar el rendimiento de los calentadores y las abrazaderas electrostáticas en los equipos de fabricación de “chips”, Quartz, una division de GE, ha presentado hoy una plataforma integrada de montaje térmico con base en el nuevo laboratorio de la empresa en Kobe, Japón. Estas plataformas de montaje variables (modificadas contra especificaciones del fabricante), un subsistema crítico de las cámaras de “wafers” del fabricante de equipos semiconductores, combinan las ingenierías mecánica, eléctrica y térmica específicas del cliente con los calentadores de cerámica y las abrazaderas electrostáticas de deposición por vapor químico avanzada (CVD) de GE. Si consideramos las condiciones límite eléctricas, mecánicas, de plasma y térmicas de la cámara del OEM, el nuevo proceso de diseño integrado de GE le ayudará a optimizar el rendimiento de todo el sistema.